한민진 부장은 반도체 제조공정의 스텝간 온도를 제어 할 수 있는 온도제어장치(칠러*) 개발을 통하여 국내, 미국, 일본 특허 등록하여 업계를 선도한 공로를 인정받아 수상자로 선정되었다.
＊ (칠러) 반도체 제조공정에 사용되어지는 냉각장치
한민진 부장은 열전소자를 이용한 온도제어장치(칠러)의 지속적 연구개발을 통해 성능 향상과 제어도박 게임의 알고리즘 개발을 통하여 업계의 생산성 향상과 공정설비의 개선을 통하여 매출, 시장 점유율 등 성장을 견인하였다.
* (열전소자) 전류를 흘리면 한쪽 접점은 발열 하여 온도가 상승 하고 다른 접점에서는 흡열하여 온도가 낮아지는 현상을 이용하여 만든 반도체 소자
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보금')){kind=link}
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효성')){kind=link}
포스콤')){kind=link}